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    热丝HFCVD化学气相沉积设备应用-HF600

    2018-06-26 点击数:

    HF600热丝CVD设备链接:http://technol.cn/cpzx/showproduct.php?lang=cn&id=36

     

    北京泰科诺科技15年真空行业经验,独立研发的热丝法制备金刚石膜方法填补了国内行业空白,产品获得多项国家专利和认证。广泛适用于各大高校、科研院所和生产企业实现教学、研发和中试之目的。目前已初步实现产业化生产。

     

    ?#24359;?#21046;备金刚石厚膜
    1、连续沉积40天,膜层厚度2.1mm。
    2、可以把厚膜经过激光切割成金刚石刀粒,钎焊在刀架上,制成金刚石钎焊刀具,用于盾构机的高耐磨刀具,用于超精密切削,可用来加工高硅铝合金、碳纤维材料、各种有色金属、复合材料、陶瓷?#36864;芰系?#38590;加工材料,替代PCD或单晶金刚石刀具。

     

     图片关键词    图片关键词     图片关键词

                ①金刚石厚膜                                 ②金刚石钎焊刀具                   ③金刚石膜显微镜照片,表面晶粒明显

     

    二、制备金刚石涂层

    1、通过HFCVD方法直接在刀具表面沉积金刚石涂层,可在?#25105;?#24418;状的工具衬底上沉积,应用于加工高硬度材料。

    2、金刚石膜的多晶特征所具有的准各向同性,在做拉丝模时,模孔均匀磨损,优于金刚石单晶拉丝模具的使用性能,目前技术已相对比较成熟。

     

    图片关键词     图片关键词     图片关键词           

                     ①PCB刀具                                      ②拉丝模具                     ③微米级热丝金刚石涂层显微镜照片

     

    三、制备金刚石导电电极涂层
    1、金刚石薄膜电极:利用掺?#20248;?#20803;素,赋予了金刚石薄膜电极优异的电化学特性,如宽的电化学视窗、?#31995;?#30340;背景电流、较好的物理化学稳定性及低吸?#25945;?#24615;等,使用其优异的性能,适用于有毒、难降解的强酸、强碱等高浓度有机污染物?#32420;?#30340;电化学处理。

     

     图片关键词

         ①金刚石薄膜电极  

    四、更多在开发中的应用项目

    ——通过HFCVD制备可以作为热沉片应用的金刚石厚膜;
    ——制作CVD金刚石?#36171;?#31649;,可以应用于高硬度磨料喷射的喷嘴;
    ——在光滑衬底?#29616;?#25509;沉积金刚石薄膜,用于平面耐磨器件对耐磨性和高精度的要求。

     

     

     

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